
潔凈級(jí)別:百級(jí)、千級(jí)、10萬級(jí)
建筑面積:8300平方米
項(xiàng)目地址:深圳
在半導(dǎo)體行業(yè)中建設(shè)無塵車間(潔凈室)需要考慮多個(gè)因素,以確保生產(chǎn)環(huán)境符合嚴(yán)格的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。以下是一些關(guān)鍵問題和因素需要考慮,具體就隨合潔科技電子凈化工程公司一起來了解下吧!
1、潔凈度等級(jí):根據(jù)生產(chǎn)的具體需求確定潔凈室的級(jí)別(如ISO1到ISO9)。半導(dǎo)體生產(chǎn)通常需要極高的潔凈度,如ISO1或ISO2。
2、氣流設(shè)計(jì):確保有足夠的氣流設(shè)計(jì)以降低粒子污染。通常會(huì)采用層流設(shè)計(jì),以確??諝庖詥蜗蛄鲃?dòng),減少湍流和污染。
3、HEPA/ULPA過濾器:使用高效過濾器(HEPA)或超高效過濾器(ULPA)來過濾進(jìn)入潔凈室的空氣,確??諝庵蓄w粒物的數(shù)量在可接受的范圍內(nèi)。
4、溫度和濕度控制:嚴(yán)格控制潔凈室內(nèi)的溫度和濕度,防止靜電的產(chǎn)生及對(duì)敏感設(shè)備和材料的影響。溫度通常需保持在21-23°C左右,相對(duì)濕度在30-50%之間。
5、壓力控制:潔凈室需保持正壓,以防止外部空氣(和污染物)進(jìn)入潔凈室。這可以通過空氣鎖和壓力差來實(shí)現(xiàn)。
6、材料選擇:使用低脫氣材料建造潔凈室墻壁、地板和天花板,以減少顆粒物和化學(xué)污染。內(nèi)表面應(yīng)光滑,易于清潔。
7、設(shè)備和工具:所使用的生產(chǎn)設(shè)備和工具也需滿足潔凈室標(biāo)準(zhǔn),如具有低顆粒物排放,并使用合適的材料制作。
8、ESD防護(hù)措施:靜電放電防護(hù)是半導(dǎo)體生產(chǎn)中的關(guān)鍵,潔凈室中需采取防靜電措施,包括防靜電地面、服裝和工作臺(tái)面等。
9、人員和服裝管理:人員是潔凈室的主要污染源之一,需要穿戴潔凈服,帽子,手套,口罩等。潔凈室內(nèi)的活動(dòng)也須規(guī)范化,以減少污染源。
10、維護(hù)和清潔:建立嚴(yán)格的清潔和維護(hù)程序,包括定期的設(shè)備檢查、空氣質(zhì)量監(jiān)控和潔凈室清潔。
11、監(jiān)控和驗(yàn)證:安裝監(jiān)控系統(tǒng),以實(shí)時(shí)監(jiān)測潔凈室的各項(xiàng)參數(shù),確保其符合要求。定期進(jìn)行驗(yàn)證及評(píng)估,以確保持續(xù)符合標(biāo)準(zhǔn)。
12、培訓(xùn)和合規(guī)性:為員工提供適當(dāng)?shù)呐嘤?xùn)和教育,確保其了解和遵守潔凈室的操作標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)程。
13、排風(fēng)和廢氣處理:設(shè)計(jì)合理的廢氣處理系統(tǒng),防止生產(chǎn)過程中的化學(xué)物質(zhì)或顆粒物排放到外部環(huán)境。
14、應(yīng)急處理:制定詳細(xì)的應(yīng)急預(yù)案,以應(yīng)對(duì)突發(fā)的污染事件或其他緊急情況,保障生產(chǎn)的連續(xù)性和安全性。
考慮以上這些因素,有助于建立和維護(hù)一個(gè)滿足高潔凈度要求的半導(dǎo)體生產(chǎn)凈化車間,確保產(chǎn)品質(zhì)量達(dá)到行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。