晶圓無(wú)塵車間作為半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵環(huán)境，其潔凈度對(duì)于產(chǎn)品質(zhì)量和工藝穩(wěn)定性至關(guān)重要。常見(jiàn)的污染源主要包括以下幾個(gè)方面，具體隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來(lái)了解下吧!

　　一、設(shè)備污染源

　　1、顆粒物釋放：生產(chǎn)設(shè)備在運(yùn)行過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生各種顆粒物，如金屬切削時(shí)產(chǎn)生的金屬粉塵、機(jī)械摩擦?xí)r產(chǎn)生的摩擦粉塵等。這些顆粒物會(huì)飄散在空氣中，污染車間環(huán)境。據(jù)統(tǒng)計(jì)，典型的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備每小時(shí)可釋放數(shù)百萬(wàn)個(gè)直徑小于0.5微米的顆粒物。

　　2、化學(xué)物質(zhì)揮發(fā)：一些生產(chǎn)設(shè)備中使用的化學(xué)物質(zhì)，如溶劑、腐蝕劑等，在加工過(guò)程中可能揮發(fā)到空氣中，形成揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOCs)，進(jìn)一步污染車間環(huán)境。

　　二、人員污染源

　　1、人體代謝產(chǎn)生的顆粒物：人員在車間內(nèi)活動(dòng)時(shí)，會(huì)產(chǎn)生各種大小的顆粒物，如皮屑、頭發(fā)、口腔飛沫等。這些顆粒物會(huì)成為空氣中的污染源。研究表明，一個(gè)成年人每小時(shí)可以釋放數(shù)百萬(wàn)個(gè)直徑小于10微米的顆粒物。

　　2、服裝和鞋襪帶來(lái)的污染：人員穿著的服裝和鞋襪可能含有灰塵、纖維等污染物，這些污染物會(huì)隨著人員的活動(dòng)而散布到空氣中。

　　三、材料污染源

　　1、原材料揮發(fā)物：電子制造過(guò)程中使用的一些原材料，如粘合劑、涂料等，可能含有揮發(fā)性物質(zhì)，在生產(chǎn)過(guò)程中揮發(fā)出來(lái)污染車間環(huán)境。

　　2、包裝材料殘留：運(yùn)輸和儲(chǔ)存過(guò)程中使用的包裝材料，如紙箱、塑料袋等，可能殘留有灰塵、纖維等污染物，在開(kāi)箱使用時(shí)釋放到空氣中。

　　四、其他污染源

　　1、門窗縫隙進(jìn)入的塵埃：晶圓無(wú)塵車間的門窗密封性需要極高，但仍有可能存在微小的縫隙，使得外界的塵埃通過(guò)縫隙進(jìn)入車間。

　　2、工藝過(guò)程中產(chǎn)生的污染物：在晶圓制造過(guò)程中，如清潔、刻蝕、光刻、沉積等步驟中，可能會(huì)產(chǎn)生金屬、有機(jī)物及顆粒狀粒子的殘留，這些污染物若未能有效去除，將直接影響晶圓表面的潔凈度。

　　五、污染對(duì)晶圓的影響

　　晶圓表面的污染會(huì)對(duì)其后續(xù)工藝及產(chǎn)品合格率造成嚴(yán)重影響。例如，金屬污染可能導(dǎo)致p-n結(jié)構(gòu)中的漏電流增加，進(jìn)而降低氧化物的擊穿電壓和載流子生命周期;有機(jī)污染物可能破壞晶圓表面的外延層生長(zhǎng)，并影響金屬污染的清洗效果;粒子污染則可能導(dǎo)致在蝕刻及微影工藝中產(chǎn)生阻塞或遮蔽效應(yīng)，在薄膜成長(zhǎng)或沉積過(guò)程中產(chǎn)生針孔和微孔等問(wèn)題。

　　綜上所述，晶圓無(wú)塵車間需要嚴(yán)格控制各種污染源，以確保晶圓表面的潔凈度達(dá)到工藝要求。這通常包括采用高效的空氣凈化系統(tǒng)、嚴(yán)格的人員和設(shè)備管理制度、以及定期的清潔和維護(hù)工作等。