晶圓生產(chǎn)是一個(gè)非常精細(xì)且需要無塵的環(huán)境，這種環(huán)境通常被稱為超凈室或潔凈室，晶圓凈化車間有著嚴(yán)格的等級(jí)劃分。那么它是怎么進(jìn)行等級(jí)劃分的呢?具體就隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來了解下吧!

　　晶圓凈化車間室是一個(gè)專門設(shè)計(jì)的封閉空間，其中空氣中的顆粒物已被高度復(fù)雜的過濾系統(tǒng)限制或去除。通常，封裝領(lǐng)域通常是萬級(jí)間，十萬級(jí)間;如果在12寸Fab工廠，光刻區(qū)甚至能達(dá)到1級(jí)，0.1級(jí)。那么這些級(jí)別是怎么劃分的?有何含義?

　　晶圓凈化車間的等級(jí)劃分常見的有兩種。一種是美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)Fed Std 209E，一種是國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO頒布的潔凈室國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644-1。

　　美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)Fed Std 209E標(biāo)準(zhǔn)定義了從1級(jí)到100,000級(jí)的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)。每一個(gè)等級(jí)都是基于特定空氣體積內(nèi)的微粒數(shù)量。按照209E標(biāo)準(zhǔn)，一個(gè)Class 100的潔凈室，在每立方英尺的空氣中允許有不超過100個(gè)0.5微米或大于0.5微米的顆粒。以此類推，Class 1000就是每立方英尺的空氣中允許有不超過1000個(gè)0.5微米或大于0.5微米的顆粒;Class 10000就是每立方英尺的空氣中允許有不超過10000個(gè)0.5微米或大于0.5微米的顆粒。這種表達(dá)方式更容易記憶，因此我們通常說的百級(jí)間，千級(jí)間的應(yīng)用范圍較廣，是以尺寸0.5um的顆粒為界，根據(jù)每立方英尺空氣中0.5um顆粒的數(shù)量來劃分。

　　ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)是一種更具國(guó)際性的標(biāo)準(zhǔn)，其定義了從ISO 1級(jí)到ISO 9級(jí)的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)，其中ISO 1代表高的潔凈度，ISO 9則對(duì)應(yīng)于一般室外空氣環(huán)境。每個(gè)等級(jí)都基于特定體積空氣中微粒的數(shù)量。

　　1、在每立方米空氣中不超過10顆0.1微米的顆粒。

　　2、在每立方米空氣中不超過100顆0.1微米的顆粒。

　　3、在每立方米空氣中不超過1,000顆0.1微米的顆粒。

　　4、在每立方米空氣中不超過10,000顆0.1微米的顆粒。

　　5、在每立方米空氣中不超過100,000顆0.1微米的顆粒。

　　6、在每立方米空氣中不超過1,000,000顆0.1微米的顆粒。

　　7、在每立方米空氣中大氣顆粒的數(shù)目適用于更大的顆粒尺寸。

　　8、空氣顆粒數(shù)目等同于典型的城市環(huán)境。

　　盡管這兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的等級(jí)名稱不同，但他們都基于同一原理：每個(gè)等級(jí)都基于一定體積空氣中的微粒數(shù)量。因此，他們之間存在著接近的對(duì)應(yīng)關(guān)系：iso3相當(dāng)于Class1，iso4相當(dāng)于，Class10 iso5相當(dāng)于Class100，iso6相當(dāng)于Class1000，iso7相當(dāng)于Class10000，iso8相當(dāng)于Class100000。Fed Std 209E在美國(guó)已被取消，取而代之的是ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)，但是在其他國(guó)家，比方我們中國(guó)，還習(xí)慣使用Fed Std 209E標(biāo)準(zhǔn)，一提到無塵車間的潔凈度等級(jí)，大家自然而然會(huì)想到十級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬級(jí)、十萬級(jí)。盡管如此，我們也需要對(duì)ISO 14644-1進(jìn)行了解，畢竟這是以后的趨勢(shì)。