集成電路制造業(yè)是一個(gè)在超凈化環(huán)境中，使用超純材料進(jìn)行超微細(xì)加工的產(chǎn)業(yè)，所以潔凈技術(shù)在半導(dǎo)體集成電路行業(yè)應(yīng)用也是很廣的。今天就隨合潔科技電子凈化工程公司一起來(lái)了解下半導(dǎo)體集成電路的潔凈技術(shù)的應(yīng)用吧!

　　1、集成電路生產(chǎn)中主要污染物的來(lái)源

　　集成電路生產(chǎn)中的這些主要污染物可能來(lái)源于空氣 、水、各種氣體、化學(xué)試劑 、工作環(huán)境、電磁環(huán)境噪聲以及微振動(dòng)、操作人員、使用的工具、器具等。

　　2、集成電路生產(chǎn)中的潔凈環(huán)境

　　實(shí)現(xiàn)集成電路潔凈生產(chǎn)，主要包括如下幾方面內(nèi)容：集成電路潔凈廠房設(shè)計(jì)與施工、操作環(huán)境與操作人員管理、高純氣體與純化、高純化學(xué)試劑與稀釋、超純水系統(tǒng)、硅片與工器具清洗等。在長(zhǎng)期的實(shí)踐中，對(duì)于不同的加工線寬所需要的潔凈生產(chǎn)環(huán)境，如空氣潔凈度、化學(xué)試劑、高純氣體、超純水等，許多國(guó)家和地區(qū)都頒布了相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)。而操作環(huán)境與操作人員管理、硅片與工器具清洗方面，各廠家也都有嚴(yán)格的規(guī)范和操作程序，以保證集成電路產(chǎn)品的成品率、產(chǎn)品的性能和產(chǎn)品的可靠性。

　　潔凈廠房的主要指標(biāo)有：空氣中粒子粒徑和粒子數(shù)目、潔凈室的壓力、溫濕度、風(fēng)速與換氣率、

　　照度等。集成電路生產(chǎn)環(huán)境所控制的粒子粒徑，一般為圖形線寬的 1/10-1/5。如1微米線寬的集成電路，所需控制的粒子粒徑為0.1—0.2微米。

　　3、集成電路生產(chǎn)過(guò)程中的潔凈技術(shù)

　　集成電路生產(chǎn)中，在潔凈室、操作環(huán)境的凈化級(jí)別以及生產(chǎn)所使用的材料、化學(xué)試劑、高純氣體、超純水純度都符合要求的情況下，操作環(huán)境的科學(xué)管理以及大量的清洗就成為日常最為重要的工作。集成電路潔凈室的污染來(lái)源，經(jīng)測(cè)試分析表明，來(lái)自操作人員的約占80%，通風(fēng)占 15%，廠房建筑 占5%，所以應(yīng)特別加強(qiáng)對(duì)于操作人員的管理。

　　具體措施有：一是要加強(qiáng)對(duì)操作人員的教育與訓(xùn)練，二是進(jìn)入潔凈室的人員必須達(dá)到潔凈度標(biāo)準(zhǔn)、進(jìn)入潔凈室人員的數(shù)目保持最少限度 ，三是操作人員在潔凈室的行為要符合規(guī)范 ，如保持自己各方面 的干凈和清潔，與工作無(wú)關(guān)的私人談話應(yīng)盡量避免，工器具須放在箱子或柜子中，并放置于一定的場(chǎng)所等。

　　至于為減少通風(fēng)與廠房建筑方面造成的污染而應(yīng)采取的措施有：一是防止外部塵埃侵入，二是室內(nèi)不形成塵埃的沉積，三是防止室內(nèi)塵埃揚(yáng)起，四是一旦塵埃揚(yáng)起，能盡快地排除。