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首頁(yè) 新聞中心 行業(yè)資訊 芯片潔凈車間壓差是如何控制的?

芯片潔凈車間壓差是如何控制的?

2023-11-15
共有3966家企業(yè)看過

  壓差是芯片潔凈車間內(nèi)的一項(xiàng)很重要的參數(shù),壓差不對(duì),潔凈車間就廢了一半。那么芯片潔凈車間壓差到底是什么?壓差怎么控制呢?今天就隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來了解下吧!

  芯片潔凈車間的壓差就是潔凈室與周圍空間所必須維持的靜壓差。使廠房外環(huán)境與潔凈室之間、潔凈度不同的潔凈室之間或潔凈室與一般房間之間保持適當(dāng)?shù)膲翰钪?,目的是為了保證芯片潔凈車間在正常工作或空氣平衡暫時(shí)受到破壞時(shí),芯片潔凈車間的潔凈度免受鄰室的污染或污染鄰室。

  芯片潔凈車間與鄰室維持正的靜壓差(簡(jiǎn)稱正壓)是較為常見的情況。芯片潔凈車間是采用維持正壓,使用有毒、有害氣體或使用易燃易爆溶劑或有高粉塵操作的潔凈室、生產(chǎn)致敏性藥物、高活性藥物的生物潔凈室以及其他有特殊要求的生物潔凈室需要維持負(fù)的靜壓差(簡(jiǎn)稱負(fù)壓)。


芯片潔凈車間


  那么,如何控制芯片潔凈車間內(nèi)的正壓壓差呢?主要可以通過回風(fēng)口控制、余壓閥控制、調(diào)節(jié)回風(fēng)閥或排風(fēng)閥、差壓變送器控制以及調(diào)節(jié)新風(fēng)閥等方式來控制和調(diào)整潔凈室內(nèi)的正壓差。其原理是通過控制送風(fēng)量、回風(fēng)量和排風(fēng)量來控制壓差。

  回風(fēng)口控制。通過回風(fēng)口上的百葉可調(diào)格柵或阻尼層改變其阻力來調(diào)整回風(fēng)量,達(dá)到控制室內(nèi)壓力的目的。特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)比較簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì),格柵控制調(diào)節(jié)量方便。但格柵不易關(guān)死,且調(diào)節(jié)幅度不大,會(huì)對(duì)氣流方向產(chǎn)生影響。

  余壓閥控制。通過手動(dòng)或自動(dòng)調(diào)整余壓閥上的平衡壓塊,改變壓閥的閥門開度,實(shí)現(xiàn)室內(nèi)的壓力控制。余壓閥一般設(shè)在潔凈室下風(fēng)側(cè)墻上。余壓閥安裝簡(jiǎn)單。

  壓差控制是防止將污染帶進(jìn)或帶出潔凈室的重要措施。當(dāng)需要的壓差值太大,不容易辦到時(shí),就要加設(shè)輔助設(shè)施。常見的緩沖設(shè)施氣閘室、緩沖室、空氣吹淋室、傳遞窗等。

  在設(shè)計(jì)和運(yùn)行芯片潔凈車間時(shí),需要嚴(yán)格遵守相關(guān)的潔凈度等級(jí)要求和標(biāo)準(zhǔn),如ISO 14644潔凈室標(biāo)準(zhǔn)。此外,需要找專業(yè)的凈化工程公司進(jìn)行綜合規(guī)劃和設(shè)計(jì),并確保定期進(jìn)行維護(hù)和校準(zhǔn),以保持潔凈車間的良好運(yùn)行狀態(tài)和壓差控制。合潔科技電子潔凈工程公司就是一家不錯(cuò)的電子凈化工程建設(shè)公司,專注電子凈化工程22年,擁有一級(jí)建筑資質(zhì)和專業(yè)設(shè)計(jì)施工團(tuán)隊(duì),上千案例,值得信賴!

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