芯片半導(dǎo)體潔凈室建設(shè)有嚴(yán)格的潔凈度要求，潔凈度要求高，建設(shè)費(fèi)用也越高。同時(shí)，芯片潔凈車間潔凈度要求高，所需要的空調(diào)風(fēng)的流量很大，即使普通的100級(jí)潔凈室，其房間截面風(fēng)速大于0.25米/秒，換氣次數(shù)都在400次/小吋以上，因而大面積潔凈房間需要龐大的供風(fēng)設(shè)備，耗費(fèi)很多電能。下面，合潔科技凈化工程公司就新排風(fēng)和電能的“套用”方案和“并聯(lián)”方案進(jìn)一步講解：

       因此，芯片潔凈室的節(jié)能設(shè)計(jì)是我們需要重要考慮的一個(gè)問(wèn)題。芯片潔凈廠房建設(shè)的一次性投資雖然大但還可以接受，但是日常使用電耗的維持費(fèi)會(huì)成為使用者的很大負(fù)姐。有些單位由于過(guò)高的空調(diào)維持費(fèi)而造成虧損；有些單位耗用巨資，安裝了具有相當(dāng)規(guī)模的空調(diào)設(shè)施，由于維持費(fèi)的昂貴競(jìng)未能投入使用。因而空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能措施實(shí)為廣泛采用潔凈技術(shù)的一項(xiàng)重要保證。

       節(jié)能措施在設(shè)計(jì)的時(shí)候就要充分考慮，一點(diǎn)疏忽就會(huì)造成不可估量的損失。嚴(yán)格控制潔凈區(qū)域的面積和潔凈度級(jí)別等，都是節(jié)電的有效方法，不同級(jí)別潔凈技術(shù)的套用，也是減少議備投資，節(jié)能節(jié)電的一項(xiàng)有效措施。

       所謂不同級(jí)別的潔凈技術(shù)的套用，指的是在大面積凈度級(jí)別的區(qū)域內(nèi)，套用一些小面積高潔凈度級(jí)別的區(qū)域，“低潔凈度”的空調(diào)新風(fēng)作為高潔凈度空調(diào)風(fēng)的“新風(fēng)”。

       有些空調(diào)系統(tǒng)中，由于工藝對(duì)潔凈度的要求不相同，因而采用了高、低兩種潔凈度并聯(lián)使用的設(shè)計(jì)方案，有些甚至采用三種不同沽凈度并聯(lián)使用的方案。這對(duì)于僅采用一種活凈度的設(shè)計(jì)來(lái)說(shuō)，無(wú)疑是最好的。

       伹是，由于潔凈面積很大，總的送風(fēng)量也就很大，因而空調(diào)設(shè)備相當(dāng)龐大，而且與潔凈區(qū)相距較遠(yuǎn)，這樣就不得不采用很多龐大而又很長(zhǎng)的送風(fēng)管路，采甩很多調(diào)節(jié)閥門、三通、彎頭等?？照{(diào)風(fēng)在這樣的管道中作長(zhǎng)距離的大循環(huán)，部會(huì)帶來(lái)一定的壓力損失（即風(fēng)阻），困而不得不選用全壓較商的鼓風(fēng)設(shè)備。為了克服這些不必要的壓力捩失，就要耗損一定的功率。 這個(gè)功率的損失足相當(dāng)可觀的，但是，如果采用不同潔凈技術(shù)的套用，把高潔凈度區(qū)域套在低潔凈度區(qū)域之中，并且把高潔凈區(qū)區(qū)域化整為零，分割成若干個(gè)小的區(qū)域，那么高潔凈區(qū)部分的很長(zhǎng)而又龐大的送回風(fēng)管路就可以省掉，空調(diào)風(fēng)就不再作大循環(huán)，而是在高潔凈區(qū)內(nèi)作小循環(huán)，這樣，功率損耗就可以減小。由于高潔凈區(qū)的新風(fēng)采用了低潔凈區(qū)的空調(diào)風(fēng)，原風(fēng)質(zhì)量提高，含塵量下降，即可以使高潔凈區(qū)的潔凈度穩(wěn)定，又可以延長(zhǎng)高潔凈區(qū)凈化設(shè)備的壽命。

       如果高沽凈區(qū)面積較大，而又不同時(shí)完全使用，在工藝允許的悄況下，分成若干更小的區(qū)域，形成若干個(gè)小系統(tǒng)的并聯(lián)使用。這樣就可以根據(jù)需要使其中的某些系統(tǒng)投入運(yùn)行，其余系統(tǒng)停止運(yùn)行，從而也能達(dá)到節(jié)約一部分電能的目的。

現(xiàn)在以900㎡ 100000級(jí)廠房和100㎡100級(jí)廠房為例，對(duì)“并聯(lián)”和“套用”兩種沒(méi)計(jì)方案進(jìn)行比較。

       如果采用兩套分立系統(tǒng)并聯(lián)使用，那么10000級(jí)廠房需2臺(tái)NO10C離心通風(fēng)機(jī)分別作送風(fēng)和時(shí)風(fēng)風(fēng)機(jī)，電動(dòng)機(jī)功率分別為13千瓦和10千瓦。100級(jí)廠房全部采用垂直平行流送風(fēng)方式，則需2臺(tái)N O i e B 離心通風(fēng)機(jī)分別作送風(fēng)和回風(fēng)風(fēng)機(jī)，電動(dòng)功率分別為30千瓦和13千瓦，這樣潔凈度為100級(jí)的潔凈區(qū)，每平方米僅送W 風(fēng)就需耗用0.43千瓦的功率。兩系統(tǒng)的總功率即為66千瓦。值班甩機(jī)采用1臺(tái)NO6C離心通風(fēng)機(jī)，電動(dòng)機(jī)的功率為5.5千瓦。

       如果采用不同潔凈度級(jí)別的套用，總的送風(fēng)和回風(fēng)風(fēng)機(jī)仍可采用2 臺(tái)NO10C離心通風(fēng)機(jī)，電動(dòng)機(jī)功率仍為13千瓦和10千瓦。100平方米的高潔凈區(qū)可以根據(jù)需要?jiǎng)澐殖扇羟€(gè)小系統(tǒng)。由于風(fēng)機(jī)全壓只需294Pa，而且不需采用回風(fēng)機(jī)，因而潔凈度為 100級(jí)的潔凈區(qū)每平方米僅需0.2千瓦左右的功率就可以滿足送風(fēng)的要求。 那么100平方米潔凈度為100級(jí)的廣房?jī)H需20千瓦左右的功率。這樣套用系統(tǒng)的功率僅為43千瓦左右，值班風(fēng)機(jī)仍采用NO6C離心通風(fēng)機(jī)。

       因此，合潔科技凈化工程公司所講解的上述方案的分析可以看出，“套用”方案為“并聯(lián)”方案所用功率的65%，100級(jí)潔凈區(qū)每平方米耗電S由0.43千瓦降到0.2千瓦。如果兩班生產(chǎn)，套用系統(tǒng)毎天比并聯(lián)分立系統(tǒng)節(jié)約電能3.68千瓦小時(shí)，100級(jí)潔凈區(qū)每平方米毎天節(jié)約3.68千瓦小時(shí)。每千瓦小時(shí)電按0.75元計(jì)算每天可節(jié)約電能維持費(fèi)276元。全年按300天生產(chǎn)計(jì)算，就珂節(jié)約電費(fèi)8.28萬(wàn)元。

       套用系統(tǒng)省掉了一些龐大的送、回風(fēng)管路系統(tǒng)，不但節(jié)省了投資費(fèi)用，特別適合于改建工程，而且也減少了空調(diào)能量的耗散。這種龐大的管路系統(tǒng)，即使在保溫設(shè)施良好的情況下，每輸送10000立方米的空調(diào)氣，夏季可能會(huì)吸收4.184M J的熱量，冬季可能會(huì)耗散8.37?12.55MJ的熱量。在大型空調(diào)系統(tǒng)中，這種能量的耗散也是不可忽視的，因而“套用”系統(tǒng)也可以降低系統(tǒng)的能耗。

       這種不同沽凈技術(shù)的“套用”，也可采用兩級(jí)“套用”，也可采用多級(jí)“套用”。這樣、使用一般的潔凈技術(shù)，就可以形成高潔凈度級(jí)別的潔凈區(qū)域。如果在1000級(jí)甚至100級(jí)的區(qū)域內(nèi)“套用”0.1μ的凈化工作臺(tái)，或者0.1μ的凈化隧道等等，即可以保證工作區(qū)域的潔凈度級(jí)別、延長(zhǎng)0.1μ凈化設(shè)備的使用壽命，又可以節(jié)約電能。

       我們采用“套用”方案，建造的電子潔凈廠房或非電子潔凈廠房的通過(guò)使用證明，高潔凈區(qū)潔凈度穩(wěn)定，過(guò)濾器使用壽命延長(zhǎng)，各種設(shè)備便于維護(hù)，特別在節(jié)能方面效果顯著；是一項(xiàng)節(jié)能的有效捎施。